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中国优秀硕士学位论文全文数据库
硅基梳齿式MEMS电容式加速度计的失效与DPA研究
【作者】
林宙峰
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【导师】
庄志强;
【作者基本信息】
华南理工大学
, 材料学, 2010, 硕士