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中国优秀硕士学位论文全文数据库
SiO
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和Si
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薄膜的PECVD沉积及在半导体光电子器件中的应用研究
【作者】
张檀威
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【导师】
黄辉;
【作者基本信息】
北京邮电大学
, 电磁场与微波技术, 2010, 硕士