反应溅射碳化钒薄膜及VC/Si3N4、V2C/Si3N4纳米多层膜的制备、生长结构与力学性能

【作者】 乌晓燕

【导师】 李戈扬;

【作者基本信息】 上海交通大学 , 材料加工工程, 2009, 硕士