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中国优秀硕士学位论文全文数据库
基于ECR-PEMOCVD技术的GaN和InN薄膜的生长及性能研究
【作者】
杨智慧
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【导师】
秦福文;
【作者基本信息】
大连理工大学
, 微电子与固体电子学, 2010, 硕士