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中国优秀硕士学位论文全文数据库
反应离子刻蚀在穿透硅通孔封装技术中的应用研究
【作者】
虞国平
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【导师】
王明湘;
【作者基本信息】
苏州大学
, 集成电路工程, 2009, 硕士