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中国优秀硕士学位论文全文数据库
基于扩散限制刻蚀模型的等离子体刻蚀模拟研究
【作者】
杨志永
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【导师】
孙秀冬;
【作者基本信息】
哈尔滨工业大学
, 光学, 2009, 硕士