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中国优秀硕士学位论文全文数据库
用于硅基含铜铁电电容器集成的Ti-Al阻挡层
【作者】
邢金柱
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【导师】
刘保亭;
【作者基本信息】
河北大学
, 微电子学与固体电子学, 2009, 硕士