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中国优秀硕士学位论文全文数据库
MEMS微热敏器件中多孔硅绝热性能研究及模拟
【作者】
张绪瑞
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【导师】
胡明;
【作者基本信息】
天津大学
, 微电子学与固体电子学, 2007, 硕士