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中国优秀硕士学位论文全文数据库
基于多孔硅衬底的碳化硅APCVD生长研究
【作者】
赵楠
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【导师】
柴常春;
【作者基本信息】
西安电子科技大学
, 微电子学与固体电子学, 2008, 硕士