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中国优秀硕士学位论文全文数据库
基于MEMS技术制作MOSFET压力传感器研究
【作者】
万灵
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【导师】
温殿忠;
【作者基本信息】
黑龙江大学
, 微电子学与固体电子学, 2008, 硕士