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中国优秀硕士学位论文全文数据库
钽掺杂铪基高k栅介质薄膜的离子束制备与表征
【作者】
余涛
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【导师】
诸葛兰剑;
吴雪梅;
【作者基本信息】
苏州大学
, 材料物理与化学, 2011, 硕士