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中国优秀硕士学位论文全文数据库
基于TSV的MEMS圆片级真空封装关键技术的研究
【作者】
张卓
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【导师】
汪学方;
【作者基本信息】
华中科技大学
, 机械制造及其自动化, 2011, 硕士