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中国优秀硕士学位论文全文数据库
以Ti-Al薄膜为阻挡层的硅基铁电电容器的集成
【作者】
赵冬月
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【导师】
刘保亭;
【作者基本信息】
河北大学
, 微电子学与固体电子学, 2011, 硕士