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中国优秀硕士学位论文全文数据库
悬臂梁膜硅微机械电容式麦克风的设计与仿真
【作者】
王伟
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【导师】
计时鸣;
董健;
【作者基本信息】
浙江工业大学
, 机械电子工程, 2010, 硕士