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中国博士学位论文全文数据库
多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究
【作者】
陆学斌
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【导师】
刘晓为;
【作者基本信息】
哈尔滨工业大学
, 微电子学与固体电子学, 2010, 博士