首页
|
帮助
|
阅读器下载
|
插件下载
|
登录
中国博士学位论文全文数据库
基于新型梳状栅电容结构的微机械惯性传感器研究
【作者】
郑旭东
;
【导师】
王跃林;
金仲和;
【作者基本信息】
浙江大学
, 微电子学与固体电子学, 2009, 博士