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中国博士学位论文全文数据库
旋转涂敷法(SOD)制备硅基多孔低k薄膜材料的研究
【作者】
殷桂琴
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【导师】
宁兆元;
【作者基本信息】
苏州大学
, 凝聚态物理, 2008, 博士