首页
|
帮助
|
阅读器下载
|
插件下载
|
登录
中国博士学位论文全文数据库
CMP中抛光液膜特性的数值仿真和实验研究
【作者】
楼飞燕
;
【导师】
袁巨龙;
赵文宏;
【作者基本信息】
浙江工业大学
, 机械电子工程, 2009, 博士