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中国博士学位论文全文数据库
用于MEMS的PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的制备研究
【作者】
刘红梅
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【导师】
曹茂盛;
【作者基本信息】
哈尔滨工程大学
, 材料学, 2009, 博士