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中国博士学位论文全文数据库
利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作
【作者】
盛斌
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【导师】
付绍军;
徐向东;
刘颖;
洪义麟;
【作者基本信息】
中国科学技术大学
, 核技术及应用, 2009, 博士