利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作

【作者】 盛斌

【导师】 付绍军; 徐向东; 刘颖; 洪义麟;

【作者基本信息】 中国科学技术大学 , 核技术及应用, 2009, 博士