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中国博士学位论文全文数据库
超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究
【作者】
杨卫平
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【导师】
徐家文;
【作者基本信息】
南京航空航天大学
, 机械制造及其自动化, 2008, 博士