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中国博士学位论文全文数据库
氟负离子储存—发射功能材料及其在Si和SiO
2
蚀刻中应用基础研究
【作者】
宋崇富
;
【导师】
李全新;
屠兢;
【作者基本信息】
中国科学技术大学
, 化学物理, 2008, 博士