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中国博士学位论文全文数据库
MEMS压阻式三维微触觉测头及其在纳米测量机上的应用研究
【作者】
李源
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【导师】
胡小唐;
【作者基本信息】
天津大学
, 测试计量技术及仪器, 2007, 博士