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中国博士学位论文全文数据库
纳米SiO
2
浆料中半导体硅片的化学机械抛光及其应用研究
【作者】
宋晓岚
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【导师】
邱冠周;
【作者基本信息】
中南大学
, 材料学, 2008, 博士