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中国博士学位论文全文数据库
会切场约束ICP增强非平衡磁控溅射放电及应用研究
【作者】
齐雪莲
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【导师】
马腾才;
任春生;
【作者基本信息】
大连理工大学
, 等离子体物理, 2008, 博士