高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术

【作者】 顾磊

【导师】 李昕欣;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 微电子学与固体电子学, 2007, 博士