纳米硅在SIMOX材料抗辐照加固中的应用研究

【作者】 钱聪

【导师】 张峰; 张正选;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 微电子学与固体电子学, 2007, 博士