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中国博士学位论文全文数据库
纳米硅在SIMOX材料抗辐照加固中的应用研究
【作者】
钱聪
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【导师】
张峰;
张正选;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
, 微电子学与固体电子学, 2007, 博士