基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究

【作者】 赵本刚

【导师】 吴亚明;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 微电子学与固体电子学, 2007, 博士