ZnMgO纳米薄膜在MOSFET和透明TFT中的应用

【作者】 梁军

【导师】 吴惠桢;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 微电子学与固体电子学, 2006, 博士