基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究

【作者】 向民

【导师】 王跃林;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 微电子与固体电子学, 2004, 博士