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中国博士学位论文全文数据库
基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究
【作者】
向民
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【导师】
王跃林;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
, 微电子与固体电子学, 2004, 博士