AIN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究

【作者】 宋朝瑞

【导师】 邹世昌; 俞跃辉; D.S.Shen;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 材料物理与化学, 2003, 博士