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中国博士学位论文全文数据库
AIN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究
【作者】
宋朝瑞
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【导师】
邹世昌;
俞跃辉;
D.S.Shen;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
, 材料物理与化学, 2003, 博士