微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究

【作者】 宋文荣

【导师】 何惠阳;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) , 机械制造及其自动化, 2004, 博士