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中国博士学位论文全文数据库
微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究
【作者】
宋文荣
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【导师】
何惠阳;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
, 机械制造及其自动化, 2004, 博士