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中国博士学位论文全文数据库
MEMS封装中的残余应力演化及其相关可靠性研究
【作者】
孙志国
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【导师】
罗乐;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
, 材料物理与化学, 2002, 博士