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中国博士学位论文全文数据库
极紫外投影光刻中若干关键技术研究
【作者】
金春水
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【导师】
曹健林;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
, 光学, 2003, 博士