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中国博士学位论文全文数据库
铪基高K及更高K氧化物在Si及InP上的沉积和性能研究
【作者】
杨萌萌
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【导师】
屠海令;
杜军;
【作者基本信息】
北京有色金属研究总院
, 材料科学与工程, 2013, 博士