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中国博士学位论文全文数据库
超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究
【作者】
焦庆斌
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【导师】
巴音贺希格;
【作者基本信息】
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
, 光学, 2014, 博士