超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究

【作者】 焦庆斌

【导师】 巴音贺希格;

【作者基本信息】 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) , 光学, 2014, 博士