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中国博士学位论文全文数据库
甚高频容性耦合等离子体中电磁效应的数值研究
【作者】
张钰如
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【导师】
王友年;
Annemie Bogaerts;
【作者基本信息】
大连理工大学
, 等离子体物理, 2013, 博士