自支撑金刚石衬底上GaN、AIN薄膜ECR-PEMOCVD法生长研究

【作者】 张东

【导师】 边继明; 秦福文; 鞠振河;

【作者基本信息】 大连理工大学 , 微电子学与固体电子学, 2013, 博士