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中国博士学位论文全文数据库
自支撑金刚石衬底上GaN、AIN薄膜ECR-PEMOCVD法生长研究
【作者】
张东
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【导师】
边继明;
秦福文;
鞠振河;
【作者基本信息】
大连理工大学
, 微电子学与固体电子学, 2013, 博士