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中国博士学位论文全文数据库
利用SiN_x插入层和新型图形化蓝宝石衬底提高GaN外延层质量的相关研究
【作者】
杨德超
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【导师】
杜国同;
【作者基本信息】
吉林大学
, 微电子学与固体电子学, 2013, 博士