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中国博士学位论文全文数据库
射频磁控反应溅射低温制备高C轴择优取向的氮化铝薄膜
【作者】
邝许平
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【导师】
韩杰才;
【作者基本信息】
哈尔滨工业大学
, 材料学, 2014, 博士