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中国博士学位论文全文数据库
基于ICP工艺的硅基复杂微纳结构制备
【作者】
高阳
;
【导师】
史铁林;
廖广兰;
【作者基本信息】
华中科技大学
, 机械制造及其自动化, 2013, 博士