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中国博士学位论文全文数据库
改良西门子法制备多晶硅过程的理论分析及建模
【作者】
侯彦青
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【导师】
谢刚;
P.A.Ramachandran;
陶东平;
【作者基本信息】
昆明理工大学
, 有色金属冶金, 2013, 博士