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中国博士学位论文全文数据库
硅基薄膜高速沉积过程中的等离子体特性研究
【作者】
许盛之
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【导师】
赵庚申;
赵颖;
张晓丹;
【作者基本信息】
南开大学
, 微电子学与固体电子学, 2012, 博士