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中国博士学位论文全文数据库
磁控溅射氧化铝薄膜的低温晶化及铜(钼)/氧化铝纳米多层膜的性能研究
【作者】
张小朋
;
【导师】
杜善义;
朱嘉琦;
【作者基本信息】
哈尔滨工业大学
, 材料学, 2013, 博士