VHF-PECVD技术沉积高生长率微晶硅薄膜及薄膜的稳定性研究

【作者】 赵之雯

【导师】 刘玉岭; 闻立时;

【作者基本信息】 河北工业大学 , 微电子学与固体电子学, 2011, 博士