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中国博士学位论文全文数据库
VHF-PECVD技术沉积高生长率微晶硅薄膜及薄膜的稳定性研究
【作者】
赵之雯
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【导师】
刘玉岭;
闻立时;
【作者基本信息】
河北工业大学
, 微电子学与固体电子学, 2011, 博士