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中国博士学位论文全文数据库
面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验
【作者】
贾晓辉
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【导师】
张大卫;
田延岭;
【作者基本信息】
天津大学
, 机械制造及其自动化, 2010, 博士