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中国博士学位论文全文数据库
基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究
【作者】
王淑珍
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【导师】
谢铁邦;
【作者基本信息】
华中科技大学
, 测试计量技术及仪器, 2010, 博士