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离子溅射用高频PWM电源及其控制系统设计

PWM High Frequency Power Supply for Ion Sputtering and the Design of it’s Control System

【作者】 李清源；

【导师】 李旭春；

【作者基本信息】 清华大学 ， 检测技术与自动化装置， 2003， 硕士

【摘要】