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空气锁

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【摘要】 为有效控制洁净室污染,具体介绍空气锁的设计特点:1.有良好的足够的有组织的空气洁净条件;2.有强制性的带延迟时间控制的出入口互锁装置;3.有设施强制保证最小通过时间;4.能维持一定的压差。提供KCS符合欧共体标准的空气锁实例,论证空气锁的主要设计参数应为满足空气洁净度要求的换气次数。

【关键词】 空气锁洁净室洁净度
  • 【文献出处】 洁净与空调技术 ,Contamination Control & Air-conditioning Technology , 编辑部邮箱 ,2000年01期
  • 【分类号】TU834
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】56
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