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纳米电子学
Nanoelectronics
【摘要】 纳米电子学是纳米技术的重要科学基础,纳米电子学将成为21世纪信息时代的科学核心,将使未来社会产生重大变革。本文介绍了纳米电子学的基本概念、纳米电子学的产生、纳米电子学的研究内容、纳米器件的基本结构及工作机理、纳米结构的微加工技术、纳米结构的检测与表征、纳米电子学的应用及发展对策。
【Abstract】 Nanoelectronics ,the important scientific foundation for nanotechnologies ,is becoming core science and technology in the21century ,bringing about important renovations for the fu-ture world.The basic concept ,origins and contents of nanoelectronics are described.Basic archi-tectures and operation mechanism of nano devices ,and the micromachining technology ,detection and characterization of nanostructures are dealt in general ,as well as its applications and deve-loping strategy.
【关键词】 纳米电子学;
纳米技术;
微电子技术;
集成电路;
【Key words】 nanoelectronics; nanotechnology; micrelectronic technology; IC;
【Key words】 nanoelectronics; nanotechnology; micrelectronic technology; IC;
- 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2004年03期
- 【分类号】TN401
- 【被引频次】8
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